晶圓探針臺(tái)
可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)可靠的測(cè)試與測(cè)量分析
- 探針數(shù)量：0~6探針可選
- 移動(dòng)精度：1-2um
- 卡盤升降：快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm
- Theta行程：旋轉(zhuǎn)360°，微調(diào)±5°，微調(diào)精度±0.1°
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品介紹
晶圓溫探針臺(tái)為小尺寸樣品測(cè)量電特性提供高精度可控測(cè)量環(huán)境。
應(yīng)用功能
| 基本測(cè)試 | 保護(hù)氣氛電路測(cè)試 | 高低溫真空探針臺(tái) | 超高頻探針臺(tái) |
| 光電流分析 | FA失效分析 | 晶圓器件性能 | … … |
產(chǎn)品特點(diǎn)
探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)可靠的測(cè)試與測(cè)量分析，幫助精準(zhǔn)測(cè)量和分析判斷晶圓器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試，射頻特性器件失效分析，芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試等技術(shù)解決方案
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備系列 | LNP-3RT | LNP-3RT |
|---|---|---|
| 溫度范圍 | 常溫 | -190~400℃ |
| 控溫精度 | – | ±0.1℃（>-120℃） ±0.5℃（≤-120℃） |
| 真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤5.0 e-3Pa |
| 探針數(shù)量 | 0~6探針可選 | 0~6探針可選 |
| 移動(dòng)精度 | 1um | 2um |
| XYZ軸行程 | 6in*6in | 50mm*25mm*25mm |
標(biāo)簽: 探針臺(tái)
嘉儀通科技 | jouleyacht
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